我們曾對多弧陰極離子鍍膜機的冷陰極電弧作過這樣的試驗,在多弧陰極相同的放電條件下(如相同的引弧電壓,相同的工作氣氛與相同的真空度等),表面很清潔的離子鍍膜陰極(如已經過燃燒后的陰極)在引弧時較為困難,但是表面有污染的多弧陰極(如陰極表面涂有污物)引弧反倒很容易。
顯然,多弧陰極離子鍍膜機的陰極表面有污染時,會更加容易產生表面的電子發射。一般來說,污物的本身就含有多種成分,某些元素很容易發射電子,另一方面受污染的陰極表面其電子的逸出功降低也比較容易產生電子發射。多弧設備的陰極靶源(特別是新靶)其表面通常含有初始污染(如吸附氧等),由于氧可發射大量的電子,初始電弧更容易發生在有污染的地方,直到表面污染被蒸發完畢才開始正常的靶材蒸發。
因此,在多弧陰極離子鍍膜機靶源的裝配過程中,應確保在清潔的狀態下進行裝配,盡量使陰極多弧靶表面特別是如側面、陰極座、屏蔽件等非蒸發表面不受污染,防止在非蒸發面放弧,提高靶源工作的穩定性和可靠性。另外陰極表面上大量的小孔也會引起對電弧燃燒穩定性的嚴重干擾。